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0929kong

金虫 (小有名气)

[求助] 透射率

我是在蓝宝石衬底上先沉积了一层Ga2O3薄膜,然后又沉积了一层ZnO薄膜,测试紫外透射的时候发现在250nm-400nm的波长范围内透射率很低,在400nm以后的范围内的透射率比单层的Ga2O3薄膜有所增加,这能满足TCO的要求吗,忘各位大侠们给分析一下。
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ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流~~ 2012-04-16 10:21:16
0929kong: 金币+15 2012-04-17 11:32:20
透明是在可见光波段(380nm~780nm)达到85%及以上。你的薄膜的相结构需要XRD测试方知道。根据图谱可猜测为三种物质:Ga2O3,ZnO,ZGO。650度,750度的样品有ZnO和ZGO,因此400nm以下被吸收。并且400nm以下750度的透过率要高,说明有更多的ZnO转变为ZGO。650度,750度的样品内可能还有部分Ga2O3没有消耗完。800度的样品ZnO全部反应,薄膜为ZGO+Ga2O3,否则200nm-400nm之间的透过应和750度Ga2O3的有区别。
4楼2012-04-16 09:55:14
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0929kong

金虫 (小有名气)

另外我在做校准的时候也发现在200nm处的透射率也不是100%,差不多85%左右,这是什么原因呢
2楼2012-03-31 07:10:27
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lqk1987

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流~ 2012-04-16 10:20:54
TCO的要求是透明导电,透明是在可见光波段(380nm~780nm),还要有低于10负3次方的电导率
no pain, no gain
3楼2012-04-16 08:44:22
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ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流~~ 2012-04-16 10:21:24
200nm处的透射率也不是100%,差不多85%左右是因为Al2O3本身的吸收。
5楼2012-04-16 09:55:59
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