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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 磁控溅射能起辉，但不能沉积
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szx2014

新虫 (初入文坛)
各位大神，我想请教一下，射频溅射纯Zn靶材，功率一般多大，温度一般是多少？还有，氩气流量。谢谢了！

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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21楼2015-10-13 16:38:06
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dxy536

铜虫 (初入文坛)
换一下靶位呢，我以前也出过这种状况，是靶位的磁体消磁了，不能束缚住等离子体束了。
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22楼2015-10-26 11:03:42
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