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szx2014

新虫 (初入文坛)

各位大神,我想请教一下,射频溅射纯Zn靶材,功率一般多大,温度一般是多少?还有,氩气流量。谢谢了!

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
21楼2015-10-13 16:38:06
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dxy536

铜虫 (初入文坛)

换一下靶位呢,我以前也出过这种状况,是靶位的磁体消磁了,不能束缚住等离子体束了。
22楼2015-10-26 11:03:42
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