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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 磁控溅射
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yanhurui

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射

如何计算磁控溅射的平均功率值？
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yanhurui

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1楼 2012-03-17 17:56:07
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wanyue1111

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by yanhurui at 2012-03-25 14:54:24:
靶材的面积如何计算？这是一圈还是靶材 的全部面积

你的靶材是不是圆柱的？知道直径，求圆面积就行！
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天空飘来五个字，这都不叫事！
4楼2012-03-25 15:13:02
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wanyue1111

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
yongyong2050: 金币+1, 感谢交流 2012-03-25 15:09:01
你想说的是功率密度吧，用溅射功率除以靶材的面积，就是功率密度。
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yanhurui
天空飘来五个字，这都不叫事！
2楼2012-03-25 14:02:38
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yanhurui

新虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by wanyue1111 at 2012-03-25 14:02:38:
你想说的是功率密度吧，用溅射功率除以靶材的面积，就是功率密度。

靶材的面积如何计算？这是一圈还是靶材 的全部面积
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3楼2012-03-25 14:54:24
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yanhurui

新虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
有些说法是说只是中间那一圈凹下去的你一圈（Ar离子轰击靶材的面积），这个你怎么看
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5楼2012-03-26 08:50:58
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