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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 如何用ＳＥＭ测量ＩｎＧａＡｓ薄膜的厚度？原理是什么？
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付付得真

金虫 (正式写手)

[求助] 如何用ＳＥＭ测量ＩｎＧａＡｓ薄膜的厚度？原理是什么？

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1楼 2012-03-16 09:22:25
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sun_spook

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
付付得真: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-03-16 15:22:07
sem测量厚度只能切侧面去看了。  样品贴到样品台的侧面，直接去看。
能看到生长的薄膜和衬底有区别，或者生长面的轮廓。 就可以量厚度了。
赞一下 回复此楼
2楼2012-03-16 13:51:00
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