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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 激光脉冲法长Pt
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shijian327

银虫 (小有名气)

[求助] 激光脉冲法长Pt

激光脉冲法长Pt的话，能量E，频率f等需要注意些什么，还有能否用磁控上用的Pt靶用作激光脉冲用？谢谢
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1楼 2012-03-13 21:31:52
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回帖置顶 ( 共有4个 )

shijian327

银虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by nlw175 at 2012-03-14 09:31:40:
我回答后一个问题，靶材可以互用。至于能量和频率，可能需要自己摸索了。

但是磁控上用的是大靶，激光脉冲法用的是小靶啊，是将大靶粘在小靶上吗
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3楼2012-03-14 09:59:54
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shijian327

银虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by liulu008 at 2012-03-14 15:42:06:
一般能量300mj，hz无所谓，想快点就打快点呗，我们一般开始是1hz慢慢打，然后最后再加速打

但是磁控上用的是大靶，我实验室只有磁控的大靶，用作长电极，激光脉冲法用的是小靶啊，是将大靶粘在小靶上吗
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5楼2012-03-15 10:33:14
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shijian327

银虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by nlw175 at 2012-03-15 16:54:53:
你们用的是什么激光器？能量那么高

我们的实验平台上氟化氪的激光器，输出功率数量级为几个瓦（w）
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8楼2012-03-15 19:41:55
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shijian327

银虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by nlw175 at 2012-03-15 16:56:51:
规格不同就不能用了，磁控用的靶材必须和装靶材的壳子良好接触，所以需要特定尺寸的靶材。

我的意思是将磁控靶用在激光脉冲上可以吗
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9楼2012-03-15 19:42:55
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普通回帖

nlw175

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
shijian327(金币+5): ★有帮助 2012-03-14 10:00:13
我回答后一个问题，靶材可以互用。至于能量和频率，可能需要自己摸索了。
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2楼2012-03-14 09:31:40
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liulu008

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
shijian327: 金币+5, ★有帮助, 谢谢 2012-03-15 10:31:47
一般能量300mj，hz无所谓，想快点就打快点呗，我们一般开始是1hz慢慢打，然后最后再加速打
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4楼2012-03-14 15:42:06
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nlw175

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by liulu008 at 2012-03-14 15:42:06:
一般能量300mj，hz无所谓，想快点就打快点呗，我们一般开始是1hz慢慢打，然后最后再加速打

你们用的是什么激光器？能量那么高
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6楼2012-03-15 16:54:53
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nlw175

金虫 (正式写手)
规格不同就不能用了，磁控用的靶材必须和装靶材的壳子良好接触，所以需要特定尺寸的靶材。
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7楼2012-03-15 16:56:51
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liulu008

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by nlw175 at 2012-03-15 16:54:53:
你们用的是什么激光器？能量那么高

德国相干公司的激光器，248nm波长，300不算太高
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10楼2012-03-16 20:44:13
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