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pcsmine

木虫 (著名写手)

[求助] 怎样做薄膜材料成分深度分析?

最近在做组分梯度薄膜,想测试沿薄膜厚度方向的成分分布,不知各位有没有做过相关测试?能否给点意见?急!
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whd博士

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
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pcsmine(金币+2): 谢谢,我试过,但是要做断面的EPMA,老师说断面要抛光,难度有点大,做的效果不好。 2012-03-14 09:07:02
你可以做一个电子显微探针分析(EMPA)中的线扫描分析~~~~~~包括波谱仪(WDS)和能谱仪(EDS),显示的结果就是沿扫描线的元素分布。
2楼2012-03-13 20:09:38
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