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leeyong

木虫 (初入文坛)

[交流] 稀磁半导体 薄膜 衬底的选择 已有4人参与

我是做稀磁半导体方向的,做的是薄膜,请问大家对于衬底的选择是怎样的?我看文献里很多蓝宝石。另外对于膜厚有什么要求吗?要做多厚的薄膜?
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wangyong832

银虫 (著名写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
蒋青松(金币+1): 鼓励交流 2012-03-11 09:00:52
衬底的话  的根据你薄膜晶格匹配、热膨胀匹配,你的测试需要等诸多因素决定啊
2楼2012-03-10 22:32:25
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kelvin0320

新虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
能解释更清楚一点吗?
3楼2012-03-11 15:26:01
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xie34

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by kelvin0320 at 2012-03-11 15:26:01
能解释更清楚一点吗?

用硅也可以,膜厚要自己探索的。
4楼2013-01-12 22:53:09
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HHBWF

禁虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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5楼2013-01-31 17:03:44
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