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Nano-mse金虫 (小有名气)
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CVD合成纳米线，控制压强的针阀到底是什么样子的？ 已有1人参与
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大家好，请问哪位知道CVD管式炉系统中，可以粗略控制压强的那种针阀到底是什么样子的呢？能给推荐一个吗？可以实现从低压到常压的那种。 我们实验室的CVD系统是这样接的：流量计-管式炉-压力表-一个貌似是开关的东西（如图）-真空泵。我们这种接法是准确的吗？但是那个貌似是开关的东西根本控制不了压力，一旦打开哪怕一点点，通入气体后，过一段时间压力表的显示就不变了（数值很低），无法调到常压（除非完全关闭，那样的话管中的气体流不出去，过一阵就把封管的套子顶开了，很危险的）。另外，一旦使用高一点的蒸发温度，一些材料的蒸发量很大的话，经常会把这个开关阻塞的（这个开关通道很小），导致管口的套子被冲开。 请大家指点一下，多谢各位了！  [ Last edited by Nano-mse on 2012-3-6 at 21:07 ] |
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8楼2015-08-17 23:34:32
Nano-mse
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