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Nano-mse

金虫 (小有名气)

[求助] CVD合成纳米线,控制压强的针阀到底是什么样子的? 已有1人参与

大家好,请问哪位知道CVD管式炉系统中,可以粗略控制压强的那种针阀到底是什么样子的呢?能给推荐一个吗?可以实现从低压到常压的那种。

我们实验室的CVD系统是这样接的:流量计-管式炉-压力表-一个貌似是开关的东西(如图)-真空泵。我们这种接法是准确的吗?但是那个貌似是开关的东西根本控制不了压力,一旦打开哪怕一点点,通入气体后,过一段时间压力表的显示就不变了(数值很低),无法调到常压(除非完全关闭,那样的话管中的气体流不出去,过一阵就把封管的套子顶开了,很危险的)。另外,一旦使用高一点的蒸发温度,一些材料的蒸发量很大的话,经常会把这个开关阻塞的(这个开关通道很小),导致管口的套子被冲开。

请大家指点一下,多谢各位了!



[ Last edited by Nano-mse on 2012-3-6 at 21:07 ]
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lgmzc818

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
实验室使用的是三通阀,你可以上网找下!
6楼2012-03-07 11:00:06
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查看全部 8 个回答

Nano-mse

金虫 (小有名气)

哪位给点指点吧~~~~~
2楼2012-03-06 21:14:10
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melyan

木虫 (正式写手)

实验室刚进cvd,,关注下帖子看看
3楼2012-03-06 22:03:49
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地道牛

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
Nano-mse(金币+2): 请问可以控制压力吗? 2012-03-07 10:30:02
我实验室使用的是三通阀,你可以上网找下!
努力朝自己的梦想前进···
4楼2012-03-06 23:38:25
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