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请问SiC中的缺陷对SiC半导体器件都会产生什么影响
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[交流]
请问SiC中的缺陷对SiC半导体器件都会产生什么影响
我现在知道SiC中的一些主要缺陷就是微管道,层错,多晶型。请问这些缺陷对SiC半导体器件都会产生哪些影响。最好说的详细点(以微管道为主),也可以介绍一些文献。谢谢了
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2012-02-29 17:11:15
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