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realsun456

铁虫 (初入文坛)

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专业: 神经生物学

[交流] 最近做实验需要买烘胶机，求推荐~ 已有3人参与

最近做实验要用到匀胶机和烘胶机，匀胶机初步决定买微电子所的，请大家推荐一下烘胶机~还有是否能用实验室一般的烘箱代替

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1楼 2012-02-29 15:21:05

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victoryn

新虫 (初入文坛)

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性别: GG
专业: 集成电路制造与封装

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

热台的工艺优势：
·效率高。因为采用的是接触式烘烤Wafer，所以时间比烘箱缩短了很多。例如典型的软烘时间是从用热台的30秒到用烘箱的30分钟。
·温度控制好。热台采用闭环反馈控制系统和PID调节方式，保证了系统的动态响应指标。这比对流烘箱、红外烘箱、真空烘箱、微波烘箱都要好。
·无新问题产生。热台透过Wafer背面热传导受热，从而避免了使用烘箱而产生的光刻胶表面“结壳”，也就避免了溶剂存留光刻胶中的情况。

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西安矽美微电子设备有限公司由几位微电子芯片设备业界从业经验丰富的人士发起创立，公司专注于微电子芯片设备的设计、制造和销售。自2011年成立以来，已先后为真明丽银雨、楼氏苏州、亚威朗光电、西安中为光电、苏州纳米所等知名企业设计制造生产设备。主要产品有清洗机、光刻胶涂布显影机和热台、HMDS预处理系统、金刚刀划片机、晶圆贴膜机、晶圆切割机等。