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[交流] ODP oil temp low during operation

如题,电镜的机械泵到真空泵突然停止工作,出现对话框 ODP oil temp low during operation .后重新启动,经过heating 到idle后没到半个小时又停止工作,出现同样对话框。但是室温和循环水温都是正常值。求高人指导,非常感谢。
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