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微电子器件的清洗问题
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请教个问题：用超声波清洗微电子器件如磁盘，读取器，要求清除纳米级的金属颗粒，请问工艺参数，及应注意事项。 [ Last edited by zcc2010 on 2012-2-22 at 20:33 ] |
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wudi19880127 
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4楼2012-03-15 11:19:08
