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CSMCHJ扩散部工艺培训（很好很强大）
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CSMCHJ扩散部工艺培训 ----主要设备、热氧化、扩散、合金 扩散部按车间划分主要由扩散区域及注入区域组成，其中扩散区域又分扩散老区和扩散新区。扩散区域按工艺分，主要有热氧化、扩散、LPCVD、合金、清洗、沾污测试等六大工艺。本文主要介绍热氧化、扩散及合金工艺....等等。 |
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2012-02-20 20:54:25, 543.5 K
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