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jksu109

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] rotary 油反流的问题

最近发现rotary (back up pump)泵的油总是有一点会反流到turbo里面然后再到腔体,导致污染腔体而无法实验。其实我们rotary是有SiO2 balls oil trap的,当然打开看的时候球有些变黑了。现在我们在rotary和turbo之间加了液氮oil trap, 但是麻烦的是每天实验的时候要添加液氮,而且更郁闷的是,每天完了实验要停掉泵,每天早上来了再开泵来等真空,很浪费时间,不知道大家有没有好的办法解决这个油反流的问题,谢谢!!!
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