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楼1970-01-01 08:00:00

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smlglw

木虫 (正式写手)

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楼主秉着可以尝试用两个不同基体来制备薄膜相同的工艺，看看有没有取向度的影响的，如果没有区别，那至少可以说明，在当前工艺下，不同的基体对于产物的取向度的影响是一致的，也可能是都没有影响。上面这话看似跟没说一样，其实就是想说阿，这个有没有影响有时候挺难判断的，因为同一个衬底基体，可能你的工艺不同形貌，取向度就有区别，如果你想严谨的判断的话就需要做大量的实验来证明的。在我做过的溶胶凝胶法制备的薄膜经验中是觉得衬底还是有影响的，特别是溶胶比较稀，膜比较薄的情况，楼上说的也在理，他讲的更多是膜厚的时候衬底对于薄膜的形貌影响就要变小了，不过这都是具体情况具体分析了，你问的内容有点概括，大家各说一家，每个人回答可能都不一样，但是大家可能都说得没错的。

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幸福都是自己给的！

4楼2012-02-09 19:08:41

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aslanchen

银虫 (小有名气)

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bianyanlon(金币+1): ★★★很有帮助谢谢 2012-02-09 11:53:05

取向受substrate影响是一定的，只是或多或少的问题，
其中温度的影响最关键，比如你在玻璃和MgO 的sub上分别合成MgO薄膜，
接着一组在200oc退火，一组在600或者高温退火，
200度退火的那组，估计取向分别不会很大，
但是600度的那组，估计会大些，

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2楼2012-02-09 00:44:25

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qianshou

木虫 (正式写手)

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bianyanlon(金币+1): ★★★很有帮助谢谢 2012-02-09 11:53:20

substrate 不一定有影响或者可以忽略,决定的还是温度的影响.胶体在成膜的过程中,脱去溶剂形成颗粒堆积成膜,退火使颗粒开始结晶,不像CVD等方法,成膜过程是原子级别的堆积过程,这时衬底的影响就大了.胶体则是颗粒膜,退火使颗粒中堆积的没规则的原子重新有有规则,这个过程,可能颗粒中没有与substrate接触的区域先结晶,或颗粒中几个区域同时开始晶化,然后逐渐是整个颗粒被晶化,所以溶胶法通常是多晶膜

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3楼2012-02-09 08:14:54

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