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周小龙

木虫 (正式写手)

[求助] 硅基板硼掺杂金刚石薄膜界面反应问题

想问一下,硼掺杂金刚薄膜中硼能与基板表面二氧化硅反应吗!怎么反应?
发生的反应与单质硼还原二氧化硅是不是同一个反应!!
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zclc621

铜虫 (小有名气)


nofrunolif(金币+1): 鼓励新虫来本版交流 2012-03-06 09:20:29
硅基哪来的氧化硅
(⊙o⊙)哦
2楼2012-03-01 19:50:13
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周小龙

木虫 (正式写手)

引用回帖:
: Originally posted by zclc621 at 2012-03-01 19:50:13:
硅基哪来的氧化硅

硅基放置一段时间是要氧化的啊!我的实验数据!XRR寂静验证了合成的薄膜绝对不是单层薄膜,基板表面会有荷包很薄一层氧化硅膜!欢迎讨论!!谢谢
3楼2012-03-06 08:51:12
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