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tjcdp
荣誉版主 (知名作家)
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【答案】应助回帖
zzzjj(金币+8, 基金HEPI+1): ★★★★★最佳答案 不错，谢谢！ 2012-01-23 12:42:21
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高性能微纳米扫描定位系统的建模与控制研究 负责人：张承进 参与人：张承进, 顾建军, 魏守水, 路飞, 孙甲冰, 张桂林, 齐晓妹, 马军, 张磊 金额：62万 申请时间：2011 学科代码：线性与非线性系统控制(F030101) 项目批准号：61174044 申请单位：山东大学 研究类型：应用基础研究 关键词：系统建模；控制器设计；压电驱动器；迟滞非线性特性；振动特性 摘要: 原子力显微镜（AFM）是微纳米显微成像和微纳米操控的主要设备。由于压电器件固有的迟滞非线性特性和振动特性致使系统带宽较窄，AFM成像速率不高，无法获得生物样本或者化学反应过程的全部瞬态信息，严重限制了AFM的应用范围。基于以上原因，本课题拟从系统和控制的角度解决AFM快速成像问题：首先在水平方向上，同时考虑迟滞非线性特性和振动特性建立压电扫描器的动态模型，分别采用自适应变结构控制和自适应逆控制对水平方向的光栅扫描进行位移控制，以期实现高速扫描；然后在竖直方向上，采用频域分析法辨识压电定位器的动态模型，结合AFM微悬臂梁的动态特性，设计样品形貌观测器，基于此分别提出前馈反馈综合控制和主辅控制的两步骤控制策略，有效地提高AFM定位系统的带宽和定位精度，同时减小对样品和探针的损伤。本课题的研究将为AFM系统快速准确成像的实现提供一种切实可行的途径，具有重要的理论意义和广阔的应用前景。 |
2楼2012-01-21 20:40:45
