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求2011年国基51105263摘要
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tjcdp
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【答案】应助回帖
zzzjj(金币+8, 基金HEPI+1): ★★★★★最佳答案 很好，谢谢！ 2012-01-19 10:44:12
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高精度定位平台环境微扰动机理与主动补偿方法研究 负责人：刘吉柱 参与人：刘吉柱, 王振华, 范立成, 潘明强, 许晓威, 雷焱焱, 王文俊, 钱驰, 朱猛 金额：25万 申请时间：2011 学科代码：微/纳制造过程检测与控制(E051203) 项目批准号：51105263 申请单位：苏州大学 研究类型：应用基础研究 关键词：定位平台；高精度；温度与振动；误差补偿 摘要: 为满足纳米光刻、微电子工程及微系统制造等新兴领域对相关设备高精度定位的要求，本课题从分析温度和振动的产生入手，研究温度与振动对高精度定位平台耦合扰动机理及控制方法。首先建立电机在不同运行状态时，高精度定位平台温度分布的数学模型及其热-结构耦合变形模型，揭示高精度定位平台热变形与电机运动参数的关系。研究热模态下高精度定位平台振动模型，在此基础上建立高精度定位平台振动位移与电机电磁力波动的关系模型。为减少温度和振动耦合引起的高精度定位平台误差，提出误差主动补偿机制和控制方法，开展高精度定位平台在环境微扰动下的相关实验研究。本课题的研究成果将为定位平台实现高精度定位提供理论基础和方法，对促进我国高精密定位技术等相关领域的研究和发展具有重要的理论及现实意义。 |
2楼2012-01-19 09:41:51
