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tinybox

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 请问怎样在阳极氧化铝孔道内壁沉积一薄层金？

例如阳极氧化铝的孔道内径100纳米，想在内壁上沉积几纳米的金，请问要怎么做？
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1楼 2012-01-13 10:17:57
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myIDname

木虫 (著名写手)

人民大会堂首席清洁工

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
试试溅射（sputter）工艺。可能会有两个问题，一个是孔很深的话，内壁淀积的均匀性可能会不好，二来是样品的一侧表面也会淀积上金。
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我们这里有勇敢的人民/荜路蓝缕以启山林/我们这里有无穷的生命/水牛稻米香蕉玉兰花
7楼2012-01-26 11:57:02
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ensureald

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
tinybox(金币+5): ★★★很有帮助 谢谢 2012-03-09 09:38:07
目前好像只有ALD可以实现这项技术，但是ALD好像还不能实现“金”纳米层沉积
下图是目前ALD可以实现的薄膜材料元素表
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2楼2012-01-16 15:04:22
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zhangwj

荣誉版主 (职业作家)

小木虫无限续航核潜艇
这个我没有见到报道，只见过颗粒的，或者是“自己”认为的不连续膜。可以尝试使用电化学沉积，参考铜互连技术的思路。我自己是这么想的，但是一直都没有实际做过，如果有兴趣自己做，记得发文章了分享一下。
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谢谢支持材料区@小木虫论坛
3楼2012-01-16 15:17:25
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tommayer

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
tinybox(金币+5): ★★★很有帮助 谢谢 2012-03-09 09:38:26
AAO事先化学修饰,带上可以还原金的有机分子,激光刻蚀掉外面不想沉积的部分。最后与氯金酸在碱性反应可以镀上金种，后续生长可以参照一些文献。
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4楼2012-01-17 11:00:48
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