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请问怎样在阳极氧化铝孔道内壁沉积一薄层金?
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tinybox
铁杆木虫
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请问怎样在阳极氧化铝孔道内壁沉积一薄层金?
例如阳极氧化铝的孔道内径100纳米,想在内壁上沉积几纳米的金,请问要怎么做?
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1楼
2012-01-13 10:17:57
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新虫
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11楼
2013-02-19 15:11:28
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ensureald
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很有帮助 谢谢 2012-03-09 09:38:07
目前好像只有ALD可以实现这项技术,但是ALD好像还不能实现“金”纳米层沉积
下图是目前ALD可以实现的薄膜材料元素表
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2楼
2012-01-16 15:04:22
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zhangwj
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专业: 其他无机非金属材料
管辖:
生物材料
这个我没有见到报道,只见过颗粒的,或者是“自己”认为的不连续膜。可以尝试使用电化学沉积,参考铜互连技术的思路。我自己是这么想的,但是一直都没有实际做过,如果有兴趣自己做,记得发文章了分享一下。
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谢谢支持材料区@小木虫论坛
3楼
2012-01-16 15:17:25
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tommayer
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很有帮助 谢谢 2012-03-09 09:38:26
AAO事先化学修饰,带上可以还原金的有机分子,激光刻蚀掉外面不想沉积的部分。最后与氯金酸在碱性反应可以镀上金种,后续生长可以参照一些文献。
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4楼
2012-01-17 11:00:48
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