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taofei

捐助贵宾 (正式写手)

[求助] 电离规和电阻规都是什么啊

看到有的CVD系统中安装了电离规和电阻规,他们两者的数值是什么物理意义啊,为什么一个放在进气口,一个放在出气口。谢谢大家!
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duola1024

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
taofei: 金币+1 2012-03-19 12:47:14
测真空度的装置,具体的找本薄膜制备基础的书都有讲
为什么会有测不准原理?难道上帝的硬件性能让他只能达到这个分辨率?
2楼2012-01-11 22:41:36
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bqian1

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
taofei: 金币+2 2012-03-19 12:47:07
测真空度的装置,一个是用来测量高真空的的压力,一个是用来测量低真空的压力,两个压力使用范围不一样,所以用不同的传感器
3楼2012-01-14 11:44:46
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wangzhenwei

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
taofei: 金币+2 2012-03-19 12:46:48
都是真空记,电阻规低真空用的,电离规是高真空用的。
4楼2012-03-19 10:24:44
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