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高升温速率是导致还是抑制薄膜开裂？
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| RT。就个人感觉而言，高升温速率使薄膜体积快速收缩，极易引起开裂；但文献中说快升温速率，薄膜没有足够时间致密化，存在孔洞可抑制薄膜开裂。请指教。 |
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