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libaoe木虫 (小有名气)
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溶胶凝胶法中哪几个工艺参数决定所成薄膜的微观形貌(如晶粒尺寸、孔洞等)?
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| 做普通的氧化物薄膜,没有太多溶胶-凝胶工艺经验,想先了解下哪几个工艺参数最关键,目的是能达到对微观形貌的可控制备。另外,溶胶-凝胶的确可以做到成分准确控制吗? |
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