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libaoe

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[求助] 溶胶凝胶法中哪几个工艺参数决定所成薄膜的微观形貌（如晶粒尺寸、孔洞等）？

做普通的氧化物薄膜，没有太多溶胶-凝胶工艺经验，想先了解下哪几个工艺参数最关键，目的是能达到对微观形貌的可控制备。另外，溶胶-凝胶的确可以做到成分准确控制吗？

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1楼 2012-01-06 16:41:52

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金虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zhangquan8385(金币+2): 鼓励 2012-01-06 17:21:54
libaoe(金币+10): ★★★★★最佳答案 2012-01-09 11:05:15

制备出稳定的溶胶：抑制剂种类及用量对溶胶成膜质量的影响，pH值对溶胶成膜质量的影响，前驱体浓度对溶胶成膜质量的影响，陈化时间对溶胶成膜质量的影响，薄膜热处理制度。
镀膜工艺参数方面：浸渍-提拉速度、时间、次数对镀膜效果的影响

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2楼2012-01-06 17:10:55

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libaoe

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3楼2012-01-09 11:03:45

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