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guojun1029

银虫 (小有名气)

[求助] AlN衍射峰

通过磁控溅射得到AlN薄膜 ，为什么38.7度会有一衍射峰。具体是哪一晶面的衍射峰。谢谢！


[ Last edited by guojun1029 on 2011-12-28 at 16:03 ]
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1楼 2011-12-28 16:00:19
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

guojun1029(金币+2, 博学EPI+1): ★★★很有帮助 2011-12-29 14:25:51
这个衍射峰位置不可能是AlN的，纯铝（111）倒是在这个位置附近有最强的衍射峰。
另外楼主也要考虑衬底在这个位置有没有衍射峰（或者单独做衬底的XRD也可确认）
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没有困难创造困难也要上网。
2楼2011-12-29 08:17:24
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guojun1029

银虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by qfw_68 at 2011-12-29 08:17:24:
这个衍射峰位置不可能是AlN的，纯铝（111）倒是在这个位置附近有最强的衍射峰。
另外楼主也要考虑衬底在这个位置有没有衍射峰（或者单独做衬底的XRD也可确认）

有道理，但有没有可能是Al2O3（131）的呢？如何界定是AL（111）还是Al2O3（131）???
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3楼2011-12-29 14:23:20
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四季的风

木虫 (正式写手)
很好啊 顶一下 交个朋友哟
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四季的风
4楼2011-12-29 16:54:31
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
Al2O3（131）是最强峰吗？如果最强峰都没出现，感觉就不是Al2O3。
如果Al2O3是衬底，可以在测XRD时把样品翻过来测一下衬底峰就知道了。
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没有困难创造困难也要上网。
5楼2011-12-29 20:37:13
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