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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 测试表征 » 如何表征100nm左右的钝化膜？！！！
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Leonxj

金虫 (小有名气)

[求助] 如何表征100nm左右的钝化膜？！！！

在不锈钢表面得到稀土转化膜，厚度也没有测出，估算在100nm，只是测试了XPS，希望找到其它的表征方法。测试SEM由于膜太薄看的不清楚，希望各位高手提供一些帮助！谢谢了！
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1楼 2011-12-16 16:43:31
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Leonxj

金虫 (小有名气)
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2楼: Originally posted by dreamer612 at 2011-12-16 17:00:27:
利用透射电镜，做样品横断面的对接样品，很容易做。

基体是不锈钢~要先打磨好基体然后浸在溶液中钝化成膜~透射电镜只知道样品很薄~没有做过~不清楚这个横断面对接样品如何制备？！
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3楼2011-12-16 18:57:35
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Leonxj

金虫 (小有名气)
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楼: Originally posted by 丁群群来了 at 2011-12-16 20:58:00:
取一片试样，放入液氮中30s，然后取出，掰断，再去看断面的SEM。
我师弟的试样是磁控溅射形成100nm的膜，就打算这么干！

这个方法听说过~不知道效果如何~那就试一下~
那个透射样品如何准备呢？
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5楼2011-12-16 22:01:15
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Leonxj

金虫 (小有名气)
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楼: Originally posted by arkmix at 2011-12-17 02:25:27:
俄歇电子能谱试过吗？

想试一下~但是问过上海测量院价格在2000~2500~太贵了~ 所以考虑一下其他的
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7楼2011-12-17 20:37:14
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Leonxj

金虫 (小有名气)
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楼: Originally posted by hotday at 2011-12-17 21:01:49:
100nm，用XRD测衍射峰宽，好像可以估测厚度

参考文献大概<100nm，
请教如何用XRD估测？
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9楼2011-12-18 08:55:20
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Leonxj

金虫 (小有名气)
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楼: Originally posted by ssssss0527 at 2011-12-19 10:24:13:
100nm。。。钨灯丝的SEM可能稍微欠点，场发射木有问题啊。。。而且SEM完了之后顺手做一下EBSD，看看晶粒呀，取向啊什么的。神器啊~~还有EDX（做了XPS其实可以免了）
TEM的话，制样的事应该不用你操心吧，钱都花了 ...

SEM冷场确实不清楚；
EBSD打的太深应该会穿了膜层~
TEM的话我们是自己准备试样~如果不锈钢打磨太薄的话~不知道这个钝化膜还能不能形成；
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12楼2011-12-19 20:15:37
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