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TPD上用的0.5%氨气和氮气的混合气用氮气表可以吗
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long1hui
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]
TPD上用的0.5%氨气和氮气的混合气用氮气表可以吗
刚买了一台TPD,不知道0.5%氨气和氮气的混合气用氮气表可以吗?感觉NH3的量挺少的应该没问题吧,希望哪位大虾给予知道。
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1楼
2011-12-16 10:50:24
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yamakawa
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以前询问过公司的,据说NH3必须用NH3 MFC
实在不行用转子吧
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2楼
2011-12-16 12:51:33
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luciferosa
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会有腐蚀,缩短表的寿命,但是压力之类的应该没什么问题,能控得准。
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3楼
2011-12-16 13:25:50
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penglincai
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可能也会存在腐蚀,我们实验室用的黄铜减压阀(10%NH3)
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4楼
2011-12-16 23:14:26
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yamakawa
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你说的是压力表阿,看错了,我以为是其体表呢,也要专用的
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5楼
2011-12-17 10:52:23
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