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xlys-forever

木虫 (著名写手)

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[求助] 如何测量柔性聚合物基体上薄膜的厚度

柔性基体无法掰断，试过直接剪开看断面扫描出现卷边的现象，看不出准确的膜厚。液氮冷冻也试过，没有出现脆断。用台阶仪可能也不合适。

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1楼 2011-12-11 16:00:53

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Twilight0220

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你好，我想问一下是否已经解决这个问题？如果方便的话，可以交流一下吗？

4楼2017-08-07 11:24:14

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yangguang53

金虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
xlys-forever(金币+1): 感谢交流 2011-12-15 08:50:55

扫描电镜严格意义来说就不应该来测量膜厚，有个叫中文应该叫椭圆仪，台阶仪也可以，可以直接测量。冒昧问一下，你这个薄膜的成分是什么？

2楼2011-12-14 16:03:12

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xlys-forever

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柔性金属上的金属薄膜（铜、铝、银、钽等等）都会存在这个问题。
台阶仪适合于刚性基体的，听说柔性基体的薄膜测试时会对设备有污染。

3楼2011-12-15 08:49:18

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Vail潍风

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可以的话磨个截面透射样那样很准确

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5楼2018-09-18 22:18:31

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