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westlife198207

至尊木虫 (正式写手)

[交流] 如何清洗薄膜衬底

请教各位,如何清洗石英玻璃衬底?然后达到什么要求才算清洗干净?才能够进行薄膜生长?小弟刚上手,请大家多多指导!谢谢!
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这个简单的问题其实有点难度阿

2楼2007-01-17 11:24:24
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icwafer

金虫 (正式写手)

★ ★
imrking(金币+2):3x
我用普通玻璃作衬底,清洗过程,参考了台湾的,再改进
1.碱容易浸泡24h,或者水煮,简单去油脂。可不用
2.丙酮超声清洗15min,去油脂。
3.无水乙醇10元(台湾异丙醇,贵啊20元),效果一样,去丙酮。超声15min。
4.DI water超声15min。
5.DI water冲洗。
6.红外,或者其他烘干,备用。

超声具体时间看清洗效果就可以了,玻璃刀切割的时候带上薄膜手套会防止手上的油脂,尤其是油性皮肤,啊啊(我就是了)。

冲洗后,不挂水珠就可以了。烘干后在肉眼看看就可以了。反正我的镀膜效果很好,附着性好。

要支持一下,送点币就可以了,哈哈!!!!!!!!

[ Last edited by icwafer on 2007-1-17 at 13:03 ]
为人民币服务!
3楼2007-01-17 13:01:37
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jackiemwd

荣誉版主 (知名作家)

小木虫论坛副秘书长


imrking(金币+1):3x
这个很简单,石英用浓硫酸加热,然后用蒸馏水漂净即可。保证没有其他的残留物。要相信浓硫酸的氧化性和酸性。
我来到小木虫论坛,就像饥饿的人扑到面包上一样。
4楼2007-01-17 16:10:31
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yanch000

捐助贵宾 (著名写手)


luo.henry(金币+1):谢谢分享!欢迎常来材料版
石英应该用HF清洗,然后纯水漂洗,乙醇丙酮等再洗,超声更好了
5楼2007-05-10 11:34:01
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redpan

木虫 (正式写手)

luo.henry(金币+0):谢谢分享!欢迎常来材料版
我是先用清洁剂清洗,后再用稀盐酸浸泡,清洗后再用无水乙醇浸泡,最后烘干。清洗均用蒸馏水
海边捡姑娘的小贝壳
6楼2007-05-11 09:46:27
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piaopiao1008

金虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by yanch000 at 2007-5-10 11:34:
石英应该用HF清洗,然后纯水漂洗,乙醇丙酮等再洗,超声更好了

石英用HF清洗后还能用么?
在搞笑么?
7楼2007-05-20 14:31:20
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