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yu16142003金虫 (小有名气)
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[求助]
求HF用真空泵选型
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我们目前购买了爪式真空泵（极限真空50pa）、双级旋片式真空泵（极限真空0.06pa），目前使用腐蚀都比较严重，真空度下降很快，经常需要维修和换新泵，经咨询国内一些真空泵厂家，比如南光机器、杭州拓达等，都表示很难做用于HF的真空泵，我们以后可能会用到腐蚀性更强的气体，因此特向高手请教如下问题： 1、国内、国外真空泵厂家有没有适合HF用的泵？有的话可以推荐，也可以合作。 2、能否改进进气管道装置，我们在进气口前加了氧化铝等吸附剂，但效果不明显。 非常谢谢！！！ |
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2楼2011-12-09 10:17:03