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duke123456

铁杆木虫 (文坛精英)

[求助] 关于范德堡法测试薄膜表面电阻率的仪器

求助,哪位虫友知道哪里有范德堡法测试薄膜表面电阻率的仪器,最好能提供厂家、型号、性能等详细信息,谢谢
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lance_nju

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
nofrunolif(金币+1): 谢谢交流 2011-12-12 21:47:29
可以用Keithley 2636;或者更快捷的话,可以用QD的PPMS测量。
2楼2011-12-12 10:24:37
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