24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
南方科技大学公共卫生及应急管理学院2026级博士研究生招生报考通知(长期有效)
查看: 1697  |  回复: 14
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

zs1217

金虫 (小有名气)

[交流] 电弧离子镀过程中金属液滴对薄膜的污染已有6人参与

不知道有人做 关于电弧离子镀过程中  金属液滴对薄膜污染问题的研究没, 有的话交流交流。 我现在 做得工作主要是从 基体方面考虑对液滴的影响。
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cmshi

木虫 (著名写手)

3年后,再回头考虑楼主的问题。其实对于电弧离子镀来说,10分钟已经很长了,因为沉积速率太快。不过,后续沉积的薄膜表面形貌并不是完全受自身薄膜材料的影响。这个关系可能是不同的基体表面特性,导致第一层薄膜形貌区别,然后又导致第二层有区别。。。统计大颗粒的尺寸数量,有专门的金相软件。我做过相关研究,用的是中科科仪的IAS8软件。貌似目前的金相分析软件都有颗粒分析功能。
天还没有亮,那是太阳在路上。
15楼2015-02-27 16:54:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答

plasma1953

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
zhyq8767(金币+1): 感谢交流! 2011-11-25 09:16:57
金属液滴(大颗粒)其实是所沉积薄膜的主要贡献(具体百分比无定论),消除大颗粒的影响,目前主流方法是利用磁过滤装置。
2楼2011-11-25 08:33:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gangkergod

新虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
现在脉冲偏压减少大液滴研究比较多
3楼2011-11-25 22:36:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

csuchenli927

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
基体应该对液滴没什么影响吧?
我也在思考这方面的问题,除了磁过滤,增加基体偏压及反应气体的压力会减少液滴,应该还有一些其它的方法,思考ing.
4楼2011-11-27 11:16:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复(可上传附件)
信息提示
请填处理意见