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zs1217

金虫 (小有名气)

[交流] 电弧离子镀过程中金属液滴对薄膜的污染已有6人参与

不知道有人做 关于电弧离子镀过程中  金属液滴对薄膜污染问题的研究没, 有的话交流交流。 我现在 做得工作主要是从 基体方面考虑对液滴的影响。
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zs1217

金虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by xuchao-100 at 2012-03-11 15:51:57:
你用的基体是什么基体,基体表面的那些方面对其有影响啊?这个的确是个很好的方向,

我现在做的基体比较多主要是不锈钢304、模具钢H13钢,TC4,YG6,Si片等,不知道朋友有什么意见没有,希望分享下
12楼2012-05-22 20:42:06
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plasma1953

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
zhyq8767(金币+1): 感谢交流! 2011-11-25 09:16:57
金属液滴(大颗粒)其实是所沉积薄膜的主要贡献(具体百分比无定论),消除大颗粒的影响,目前主流方法是利用磁过滤装置。
2楼2011-11-25 08:33:55
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gangkergod

新虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
现在脉冲偏压减少大液滴研究比较多
3楼2011-11-25 22:36:48
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csuchenli927

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
基体应该对液滴没什么影响吧?
我也在思考这方面的问题,除了磁过滤,增加基体偏压及反应气体的压力会减少液滴,应该还有一些其它的方法,思考ing.
4楼2011-11-27 11:16:28
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