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huaxuejidi

铁杆木虫 (正式写手)

科研爱爱爱

[求助] 怎么清洗不锈钢气路中的氧化铝粉末(不定形)?

本人在mocvd生长ZnO掺铝 的薄膜,管路上沾上了很多氧化铝粉末,很顽固,现在准备清除这些,求助哪个大侠能帮忙想个法子。对于氧化铝粉末真的好难处理啊???
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朝闻道夕死可矣
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huaxuejidi

铁杆木虫 (正式写手)

科研爱爱爱

引用回帖:
2楼: Originally posted by philosong at 2011-11-21 17:41:57:
MOCVD管路中应该不会有氧化物啊。
怎么漏气了?

本来也一直不相信有氧化物,现在发现堵了,怀疑是泵后端漏气,返流有空气进入。
朝闻道夕死可矣
3楼2011-11-21 18:39:17
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huaxuejidi

铁杆木虫 (正式写手)

科研爱爱爱

引用回帖:
2楼: Originally posted by philosong at 2011-11-21 17:41:57:
MOCVD管路中应该不会有氧化物啊。
怎么漏气了?

估计是其中的单向阀不行了。现在想问问有没有人有经验对管路堵了有办法的
朝闻道夕死可矣
4楼2011-11-21 18:42:16
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