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nanosolo

禁虫 (小有名气)
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1楼 2011-11-07 14:27:26
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半夜找糖吃

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
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3楼: Originally posted by nanosolo at 2011-11-07 19:55:55:
哦，谢谢啊。那光刻硅做的阵列尺寸一般是多少？我想用硅做，但做不了光刻，不知道有没有硅的化学腐蚀方法做的？

硅刻蚀还真不知道能不能化学腐蚀，
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水流心不竞,云在意俱迟
5楼2011-11-08 08:20:19
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半夜找糖吃

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
我们用的是氧化铝模板，还可以用光刻蚀的硅
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水流心不竞,云在意俱迟
2楼2011-11-07 14:40:57
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nanosolo

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
3楼2011-11-07 19:55:55
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lchpy

木虫 (职业作家)

优秀版主
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by 半夜找糖吃 at 2011-11-07 15:40:57:
我们用的是氧化铝模板，还可以用光刻蚀的硅

AAO的模板能做到20nm以下直径的洞吗?
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4楼2011-11-07 20:04:52
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