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strosd

铁杆木虫 (著名写手)


[交流] 用碱来腐蚀多晶硅的,有木有

如题。。有没有虫子做过这方面尝试?用过哪些方法,取得哪些进展或成果?失败的经历也可以交流下哦。
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foreverxln

金虫 (小有名气)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
strosd(金币+1): 谢谢参与~ 2011-11-06 17:45:25
请问楼主腐蚀了做何用途?是做减反射面吗?
3楼2011-11-06 16:52:16
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strosd

铁杆木虫 (著名写手)


没人做过吗?自己先顶下
2楼2011-11-05 12:45:34
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strosd

铁杆木虫 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by foreverxln at 2011-11-06 16:52:16:
请问楼主腐蚀了做何用途?是做减反射面吗?

是啊,就是制备绒面的
4楼2011-11-06 17:44:12
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foreverxln

金虫 (小有名气)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by strosd at 2011-11-06 17:44:12:
是啊,就是制备绒面的

多晶硅片最早的绒面制备就是用的碱蚀刻,后来才用的酸蚀刻。
5楼2011-11-07 10:56:17
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