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lw19861021新虫 (初入文坛)
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[求助]
求助：想知道一些应力相关的知识。
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| 刚刚测了薄膜的应力，但是对应力没有足够的了解，大家有没有对应力比较了解的，应力和晶格取向，或者是界面间的缺欠等等什么的之间有关系吗？如果可以提供一些和应力相关的知识什么的也非常非常的感谢！ |
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ycnjzy
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8楼2011-11-04 15:12:26
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| 应力是薄膜制备和生产过程中存在的普遍现象，薄膜所受的应力分外应力和内应力。外应力是外部对薄膜施加的力，内应力是在薄膜制造过程中，在内部自己产生的应力。内应力又分为热应力和本正应力。热应力是由于薄膜和基底的热膨胀系数差别而引起的，是可逆的。本正应力来自薄膜的结构因素和缺陷，是内应力中不可逆的部分。薄膜应力取决于材料、淀积工艺技术和各种环境参量，不同淀积条件和生长过程将使薄膜处于不同的应力状态。薄膜中应力的大小和分布对薄膜的结构和性质有重要影响，可导致薄膜的光、电、磁、机械性能改变。如薄膜中的应力是导致膜开裂或与基体剥离的主要因素薄膜中存在的残余应力很多情况下影响MEMS器件结构的特性，甚至劣化器件的性能，薄膜的内应力对薄膜电子器件和薄膜传感器的性能有很大的影响。 |
16楼2011-11-05 11:24:20
ycnjzy
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lw1986102117楼2011-11-05 11:28:10
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19楼2011-11-05 16:11:22
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20楼2011-11-05 16:15:53
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21楼2011-11-05 16:16:17