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关于用MOCVD生长薄膜的问题
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在蓝宝石底片上生长氮化铝薄膜很不均匀,薄厚不一,有的地方有有的地方没,不知道如何调整下,请有这方面经验的高手指导下~ |
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2楼2012-05-03 11:37:52
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