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定向硅纳米线阵列XRD谱的疑惑
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我们由单晶硅片(100)用化学刻蚀法制备了定向Si纳米线阵列,测得XRD谱图如下面的第一幅图所示,有一个明显的(400)衍射峰。低角度部分放大如第二幅图所示,其中第1个小峰和第2个强峰可以分别和硅的(111)和(200)对应,但是61.7度左右的强峰却和所有硅标准卡片上的任何峰都对不上。百思不得其解,求高手给指点一下。 非常感谢! |
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