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polaris953

金虫 (小有名气)

[求助] MOS氧化前清洗步骤

MOS氧化前清洗工艺流程在SC-2清洗液洗后,需不需要用DHF浸泡一下去掉表面氧化物?最后一步如果用HF清洗的话,是不是会使Si表面变成疏水性的,这样用去离子水冲洗能冲干净吗?请大家指教~~
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