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polaris953金虫 (小有名气)
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MOS氧化前清洗步骤
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| MOS氧化前清洗工艺流程在SC-2清洗液洗后，需不需要用DHF浸泡一下去掉表面氧化物？最后一步如果用HF清洗的话，是不是会使Si表面变成疏水性的，这样用去离子水冲洗能冲干净吗？请大家指教~~ |
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