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木虫 (小有名气)

[求助] 形核问题

利用金刚石粉对硅片进行碾磨可以使金刚石在硅片表面形核。那么增加形核的方法有哪些？

1楼 2011-10-20 20:19:26

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铁虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★
wbcui(金币+2): 鼓励一下，多谢参与！ 2011-10-24 22:20:40
wbcui(金币+2): 鼓励一下，多谢参与！ 2011-10-24 22:20:45

增加形核过程中的碳源浓度，降低沉积温度。或者调整偏压也可以实现形核密度的增加

加油

2楼2011-10-24 21:51:43

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