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ququmeimei

铜虫 (初入文坛)

[求助] atom/cm3与ppm换算

原子密度atoms/cm3与ppm如何换算?如炭原子密度10的16次方,换算成ppm是多少?过程如何?求过程
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mit95

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

ququmeimei(金币+5, 博学EPI+1): 2011-10-20 16:23:26
原子密度啊,它和ppm就不是一个概念,ppmw、ppbw是以质量计的浓度,w是weight(重量)ppma、ppba是以原子数计的浓度,a是atom(原子)如果要将高纯硅中痕量杂质的原子密度转换为质量浓度(ppmw或者ppbw)可以用:杂质的原子密度×杂质元素的原子量/(5e22×28)=杂质的质量浓度(ppmw或者ppbw)其中5e22是每立方厘米硅中硅的原子数,28是硅的原子量,如果要将高纯硅中痕量杂质的原子密度转换为原子数浓度(ppma或者ppba)可以用:杂质的原子密度/5e22=杂质的原子数浓度(ppma或者ppba)。其中5e22是每立方厘米硅中硅的原子数。
http://q.gs/38aUd
2楼2011-10-20 12:27:46
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ququmeimei

铜虫 (初入文坛)

在多晶硅/单晶硅行业中,好像有这个转换
3楼2011-10-20 13:54:17
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

ququmeimei(金币+3): 2011-10-20 16:23:38
碳原子密度乘以杂质的含量(设为百万分之y ,即y ppm),则得杂质的原子密度为:y乘以10的10次方。
没有困难创造困难也要上网。
4楼2011-10-20 13:56:24
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ququmeimei

铜虫 (初入文坛)

好像不是这样的,我看过一篇文章,他只有结果,炭原子密度10的16次方,得出的ppm为0.086。
5楼2011-10-20 14:13:16
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by ququmeimei at 2011-10-20 14:13:16:
好像不是这样的,我看过一篇文章,他只有结果,炭原子密度10的16次方,得出的ppm为0.086。

那就是杂质浓度除以碳原子浓度,然后以百万分之一(ppm)为单位计算出杂质的含量。
没有困难创造困难也要上网。
6楼2011-10-20 14:16:35
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

在文献里:三楼的y=0.086
没有困难创造困难也要上网。
7楼2011-10-20 14:19:50
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ququmeimei

铜虫 (初入文坛)

那它的杂质浓度有标注么?
8楼2011-10-20 14:34:49
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by ququmeimei at 2011-10-20 14:34:49:
那它的杂质浓度有标注么?

没见到原文。但根据上述关系,可以推算出其杂质的原子密度为:8.6乘以10的8次方。
没有困难创造困难也要上网。
9楼2011-10-20 14:58:58
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ququmeimei

铜虫 (初入文坛)

我还是没弄明白,能给列一下么?
10楼2011-10-20 15:11:12
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