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薛定谔方程

银虫 (小有名气)

[求助] 能否以Cu2S为靶材，用磁控溅射方法制备Cu2S薄膜

能否以Cu2S为靶材，用磁控溅射方法制备Cu2S薄膜？在溅射过程中，Cu2S分子会不会分解？
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1楼 2011-10-18 16:36:43
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

薛定谔方程(金币+2, 博学EPI+1): 哦 2011-10-19 09:30:55
个人看法：应该可以。但Cu2S分子会分解，导致固相薄膜中的S组分偏少。
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没有困难创造困难也要上网。
2楼2011-10-18 16:47:12
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cs123292

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

Cu2S导电性好吗？如果不好溅射会有困难！
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3楼2011-11-10 00:45:25
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ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

薛定谔方程(金币+5): 谢谢 2011-11-14 09:48:57
可以射频磁控溅射。有如下问题：
1、S组分偏离，这是一定的。
2、即使成分差不多，Cu-S在沉积膜内不一定是Cu2S的形式化学键合。
3、Cu2S的结晶形态不一定能得到。
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4楼2011-11-10 12:13:57
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shlisgoodboy

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

何凯文www哈哈哈恒亮
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开心，加油！
5楼2011-11-10 14:24:08
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