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通过热氧化腐蚀后的单晶硅片,为什么没有火柴棒状的层错?
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gaomin1986
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[交流]
通过热氧化腐蚀后的单晶硅片,为什么没有火柴棒状的层错?
我们的片子送到北京有研处理后,在金相显微镜下可以观察到火柴棒状的层错,但是我们自己处理过的硅片,却只能发现四边形的位错,这是为什么?是处理方法不对吗?按理说是按照他们的方法步骤做的,有知道的吗?十万火急!
(100)晶面位错图片
层错图片
层错图片1
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