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电沉积的薄膜是采用真空热处理还是氩气保护热处理啊？
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| 电沉积的薄膜是采用真空热处理还是氩气保护热处理(样品薄膜大概要300度左右的热处理温度），两种热处理方式各有什么优缺点？如防氧化，防挥发，防应力等等啊 |
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