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秀才遇着兵

金虫 (小有名气)

[求助] 请教微纳米技术方面的同仁们一个问题

请教微纳米技术方面的同仁们一个问题。
本人是做生物传感器方向的，现在遇到一个这样的问题：
生物芯片中，电极引线为微米级别，约为20微米，现在需要在该微米级别引线上覆盖一层绝缘保护材料，请问这个问题在实际中应该用哪种方法来实现呢？？。还望有这方面知识的同学能给点建议。

[ Last edited by 秀才遇着兵 on 2011-10-12 at 11:08 ]
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1楼 2011-10-12 10:35:35
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秀才遇着兵

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by jy02266731 at 2011-10-13 09:49:10:
你的芯片尺寸大概是多少，要不试试用PDMS bongding

谢谢回复，芯片尺寸为5mm，内部有很多微米级别的电极，需要在电极引线（20微米宽，引线间距40微米）上覆盖一层绝缘保护层。
请问您说的PDMS bonding 是啥技术？
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3楼2011-10-13 12:44:29
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jy02266731

新虫 (初入文坛)
★
金光闪闪2010(金币+1): 2011-10-13 13:41:59
你的芯片尺寸大概是多少，要不试试用PDMS bongding
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2楼2011-10-13 09:49:10
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jy02266731

新虫 (初入文坛)
★
lchpy(金币+1): thanks for your informations 2011-10-13 15:53:41
引用回帖:
3楼: Originally posted by 秀才遇着兵 at 2011-10-13 12:44:29:
谢谢回复，芯片尺寸为5mm，内部有很多微米级别的电极，需要在电极引线（20微米宽，引线间距40微米）上覆盖一层绝缘保护层。
请问您说的PDMS bonding 是啥技术？

不是啥技术啦，就是键合一块PDMS在上面。
你还可以试试用SU 8 光刻胶在你的芯片上对准光刻，这样在电极的上面覆盖一层SU 8 光刻胶也可以达到绝缘的目的，
还有问一下，您是要把芯片浸没入溶液，怕短路所以要做绝缘吗？
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4楼2011-10-13 13:56:24
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秀才遇着兵

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by jy02266731 at 2011-10-13 13:56:24:
不是啥技术啦，就是键合一块PDMS在上面。
你还可以试试用SU 8 光刻胶在你的芯片上对准光刻，这样在电极的上面覆盖一层SU 8 光刻胶也可以达到绝缘的目的，
还有问一下，您是要把芯片浸没入溶液，怕短路所以要做 ...

对的，引线尖端是一个圆形电极，引线部分需要覆盖，以免与溶液接触，那样就测不准了。。。
谢谢老兄了，有没有什么光刻方面的书推荐下啊，这方面对知识太少了
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5楼2011-10-13 15:49:32
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