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雨燕9157

木虫 (小有名气)

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[交流] 关于化学气相沉积CVD

一般气相沉积都是将反应物加入到里面然后反应生成你想要沉积的东西吗？那有没有物理气相沉积呢?还有就是一般沉积什么材料呢？还有就是气相沉积的层是很紧密的没有孔隙的吧。
层层组装LBL这种方法生成的膜的结构又是怎么样的呢？

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1楼 2011-09-27 18:59:37

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suxlei

金虫 (著名写手)

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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
lchpy(金币+1): 2011-09-27 20:15:47
金光闪闪2010(金币+1): Thank you for your information 2011-09-27 20:15:53

你说的是两种方法，第一种是通过裂解等化学反应沉积出来薄膜，薄膜性能如何和基体、沉积所用物质等很多因素有关系。

LBL应该是电镀的一种吧，是通过简单的化学反应沉积出来的。（这是自己的理解，CVD实验自己做过）

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