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波导器件
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| 有谁可以告诉我 醚类的高分子聚合物制出的波导材料可以制作什么波导结构的器件啊 |
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feixugege
金虫 (小有名气)
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【答案】应助回帖
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1） 在硅衬底上旋涂下包层材料，保证聚合物彻底固化； 2） 在固化好的下包层上旋涂并前烘芯层材料，使芯层材料固化； 3） 旋涂一层厚度约为1 微米的正性光刻胶（BP212），并在80 ℃下烘30 分钟，以作为芯层的保护层； 4） 溅射一层厚度约为几十纳米的铝膜（若芯层材料与光刻胶不互溶，则 可以选择蒸发的方法，3）步骤也可省略）； 5） 旋涂一层厚度约为1 微米的正性光刻胶（BP212），并在80 ℃下烘20 分钟，然后曝光、显影，形成铝掩模图案； 6） 进行反应离子刻蚀(RIE)选择入射功率，氧气流速度，形 成芯层波导； 7） 把处理后的样品浸泡在氢氧化钠的水溶液中，以去除铝掩模； 8） 旋涂并固化上包层材料； 9） 解理并进行端面抛光，最终形成聚合物波导光栅。 |
2楼2011-09-27 07:43:04