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persuit2012

新虫 (小有名气)

[求助] 哪位仁兄知道磁控溅射仪的一些信息？生产厂家？性能参数？可以用来溅射铜吗？

位仁兄知道磁控溅射仪的一些信息？生产厂家？性能参数？可以用来溅射铜吗？
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1楼 2011-09-21 10:52:10
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reagan251

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

沈阳科学仪器研制中心，质量不错，建议分子泵买稍微大一点，省老多时间了。。。
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4楼2011-10-11 13:53:58
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yhailing

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

persuit2012(金币+10): 可以ju 2011-09-22 14:22:34
以前联系过几个厂家买这方面的仪器，基本上是国内沈阳那边的。性能参数这个概念太模糊了，磁控溅射铜是最基本的，没有问题。
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2楼2011-09-21 11:26:00
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yutao650

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

persuit2012(金币+5): 多提供点信息啊，能留下你Q 吗？我的675492067 2011-09-22 14:24:22
我们这用的是辽宁聚智的，够没够15个字符
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3楼2011-09-21 19:50:46
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