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扫描电镜 分子泵与扩散泵的性能该做如何比较？
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扫描电镜 求达到相同真空度的分子泵与扩散泵的性能比较 看了论坛中几个帖子所说，分子泵与扩散泵的优缺点比较，学习了不少。不过又有问题挥之不去，比如：在同样达到5*10-6真空度的情况下，分子泵与扩散泵的性能该做如何比较？分子泵的抽速能赶上扩散泵的吗？功耗应该也是分子泵小吧，那么用电量如何呢？ |
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